安徽省紫芯半导体技术有限公司
紫芯半导体(深圳)有限公司

Epi Wafer(GaN| SiC)
ABUIABACGAAg4P7XhQYozPrGnwIwtQU4vQM

Epi Specs-UV-CHIPS Standard GaN|SiC epi specs

外延片说明-紫芯半导体标准氮化镓外延片|碳化硅外延片

微信图片_20210723153058.jpg

4英寸氮化镓外延片|碳化硅外延片 HEMT外延片产品


Epi structureEpi spec
Substrate Thickness (µm)500 ±25
Epi Thickness (µm)

1.8 to 2.0μm or upon customers’ request

XRD Rocking Curve

(002) ≤ 200 arcsec

(102) ≤ 250 arcsec

Epi Sheet Resistance (Rsh)*350±35 Ω/sq or upon customers’ request
Epi Sheet Resistance uniformity**Rsh Stdev. ≤2%
Ns(cm-2)***

0.8 ~ 1.1 X1013 or upon customer

request

Electron Mobility(cm2V-1s-1)****

≥2000
Epi Surface Roughness (rms)

≤0.5nm

Epi Total Thickness Variation

(TTV)

≤10μm
Wafer Wrap, Bow≤30μm
In-situ SiNxAvailable upon customer request
Wafer Edge Exclusion≤3mm


24小时服务热线
400-8601710
邮箱:uvclcd@qq.com
地址:安徽省安庆市太湖县刘畈乡刘畈村枫树街80号
QQ:2197320943
集团公司
太湖县裕田光电显示有限公司
Taihu ROOTIN photoelectric display Co.,Ltd

地址:太湖县刘畈乡刘畈村枫树街

电话:400-860-1710
紫芯半导体(深圳 )有限公司
UV-CHIPS Semiconductor (SHENZHEN) Co.,Ltd

地址:深圳市宝安区松岗街道碧头社区第三工业区A058栋101

电话:15012893818
小荷才露尖尖角,
      打开微信扫一扫!

微信客服报价
会员登录
登录
其他帐号登录:
留言
回到顶部